原子力显微镜
原子力显微镜是一种纳米级分辨率的成像技术,通过探针与样品表面接触进行研究。样品表面和探针间的原子排斥力会导致悬臂梁向上弯曲,通过将激光反射到光电检测器,来测量悬臂梁的弯曲程度,从而计算得出排斥力的大小。在探针扫过样品表面的过程中,保持排斥力的恒定,则探针的纵向移动将勾勒出样品表面的轮廓,记录下样品表面的3D形貌图。在纳米尺度上,力学变量(电场、磁场、等)都会给这一交互过程带来影响。因此,原子力显微镜可以分析材料的表面形貌,力学,电学,磁学,热学等性能。
原子力显微镜的主要应用领域如下:
在材料科学领域,原子力显微镜不但可以获得材料表面的3D形貌、表面粗糙度等信息,而且可以获得材料表面物理性质分布的差异,例如摩擦力、阻抗分布、电势分布、介电常数,压电特性、磁学性质等。
在聚合物科学领域,原子力显微镜可以获得表面的结构以及材料表面物理性质。对样品进行加热,可以研究聚合物的相变过程;结合环境腔,可以研究有机溶剂气氛下聚合物表面结构演变过程,有助于解释聚合物失效机理。
聚合物样品表面形貌
在半导体工业领域,原子力显微镜可以检测基片表面抛光缺陷、图形化结构、薄膜表面形貌以及定量的表面粗糙度数据和深度信息,同时可以检测表面缺陷(比如电流泄漏、结构缺陷、晶格错位、缺陷密度和传播等)以及表面阻抗、电势分布、介电常数、掺杂浓度等,有利于半导体材料的可靠性、均一性和失效性分析。
在电化学领域,原子力显微镜可以原位研究电化学的沉积过程,揭示电化学的反应机理;可以原位研究金属腐蚀过程,有助于解决金属腐蚀机理;结合手套箱,可以原位研究锂电池充放电过程。
生命科学领域,原子力显微镜不但可以原位检测溶液下DNA,蛋白,细胞的精细结构,还可以对其进行力学和电学性质的测量,获得生物样品的杨氏模量以及阻抗特性。
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