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触针式表面粗糙度仪轮廓仪由传感器，驱动器盒，指示器，记录器和工作台等主要部件组成。电感式传感器是表面光度仪的主要部件之一。
激光共聚焦显微镜和扫描电镜都是点源逐点扫描成像，通过控制扫描驱动范围来调整放大倍率。激光共聚焦显微镜通过激光扫描工作以获得三维图像。
针绘法也称为触针法。当触控笔直接滑过要测试的表面时，由于测量表面的峰和谷，触控笔将在垂直于测量轮廓表面的方向上下移动，并且移动通过电子传输设备放大，然后通过零量规或其他输出设备输出有关粗糙度的数据或图表。
由于原子力显微镜具有广泛的工作范围，生物医学样品可以直接以高分辨率的自然状态（空气或液体）成像。因此，原子力显微镜已成为研究生物医学样品和生物大分子的重要工具之一。
原子力显微镜可用于对细胞进行形态学观察并进行图像分析。通过观察细胞表面形态和三维结构，可以获得定量参数，例如细胞的表面积，厚度，宽度体积和胰腺外分泌细胞囊泡的影响进行研究。
金相显微镜主要通过检测微观结构的形态，分析钢的微观结构与其化学成分之间的关系。通过不同的加工和热处理，可以确定各种钢的微观结构判断钢的质量。
原子力显微镜（AFM）使用微悬臂梁来感测和放大悬臂上的尖锐探针与被测样品原子之间的力，从而达到原子分辨率检测的目的。由于原子力显微镜可以同时观察导体和非导体，因此可以弥补扫描隧道显微镜的缺点。
扫描电镜是一种测试样品表面形态的大型仪器。当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时，电子在单个或多个弹性和非弹性碰撞中与元件的核和外部电子碰撞。
