搭载场发射电子光学系统，岛津EPMA分析性能

从SEM观察条件到1μA量级，在各种束流条件下都拥有非常好的空间分辨率的场发射电子光学系统。

高分辨率面分析

对碳膜上Sn球放大3万倍进行面分析。即使是SE图像（左侧）上直径只有50nm左右的Sn颗粒，

在X射线图像（右侧）上也是清晰可见。

空间分辨率

EPMA可达到的级别至高的二次电子图像分辨率3nm（加速电压30kV）分析条件下No.1的二次电子分辨率。
（加速电压10kV时20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA）

二次电子图像至高分辨率3nm

碳喷镀金颗粒的观察实例。实现至高分辨率3nm（@30kV）。相对较高的束流也可将电子束压细聚焦，更加容易的获得高分辨率的SEM图像。