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与以前的光学显微镜相比，激光共聚焦显微镜可以将水平分辨率提高40％以上，其优势可以达到120 nm。激光共聚焦显微镜具有高度适应性，并且是非接触式检测。为了改善场景的深度，须在高度方向上进行扫描以获得一系列切片，然后重叠以获得三维图像。
一、高精度
激光共聚焦显微镜不需要样品制备和电导率处理，并且样品没有损坏（可以检测粉末，软样品和透明样品）。激光共聚焦显微镜具有丰富的测量结果，高分辨率的2D和3D摄影。
各种2D和3D显示结果的比较，大面积图像样条曲线，非接触粗糙度测量，膜厚度测量，荧光分析等。操作和维护都很简单。激光共聚焦显微镜不需要昂贵的材料，模块设计，用户友好的操作软件以及自动校正程序。
二、低噪音
激光共聚焦显微镜不仅可以改善有效信号，而且可以大大降低噪声信号并获得高质量的荧光图像。基于共焦原理的小测量精度对正确读取反射光的峰值的能力有很大影响。
共焦光学系统有许多结构方法。在几种形状测量激光显微镜系统中使用的“针孔共聚焦模式”。针孔共聚焦法在光接收元件之前设计一个针孔。
针孔的直径只有几十微米，当反射光失去聚焦时，其作用是阻挡反射光。通常，光学系统和激光共焦光学系统的反射光进入光接收元件。在“非聚合”的情况下，光学系统的反射光（聚焦模糊光）通常进入光接收元件。
并且激光共聚焦光学系统的反射光（聚焦模糊光）通过针孔被切断。也就是说，只有在聚焦之后，反射光才能进入光接收元件，这是形成共焦光学系统的基础。
三、结果可比较
激光共聚焦显微镜可以显示清晰的细节和高对比度的图像，而不管表面形态和结构分析或表面轮廓如何。提高灵敏度和减少背景噪声是激光共聚焦显微镜应用的先决条件。激光共聚焦显微镜具有优越的灵敏度，良好的降噪技术和激发激光技术，可确保良好的输出功率。
四、测量3D轮廓的地形图像分辨率高
激光共聚焦显微镜的机械运动更少，特别是在光谱成像中，机械运动更稳定，可确保更快，间歇和令人信服的结果。通过将多个检测器集成在一起，可以可靠地重现用户的测量结果。并行光谱检测允许在波长模式下同时读取更多信号。另外，还有一种特殊的采集方法，可以大大提高光谱分辨率。
五、广泛应用
便携式光学表面三维形状在线检测仪是一种基于光学干涉仪设计的超光滑表面三维形状检测仪，解决了现场很高精度加工零件的高精度在线快速批量检测问题。
例如机械，微电子学和光学。超大型集成电路晶片，LED蓝宝石基板和其他组件的生产测试可应用于芯片，LED，微机械，微光学，航空光学陀螺仪，强激光和天文望远镜的生产和研究领域。
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