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徕卡显微系统(上海)贸易有限公司

提供 来源:      日期:2025年06月07日
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芯片表面明暗场对比

 

芯片表面明暗场对比

 

在现代显微镜观察检验方法中 , 尤其在工业显微镜应用领域,除了常规的明视场BF(Bright field)和暗视场DF(Dark field)观察方法, 微分干涉相衬观察法 (DIC:Differential interference contrast) 作为一种新兴的观察检验方法。作为检验观察的一种强有力的工具,越来越多的被使用。尤其随着微电子,平板显示行业的快速发展,微分干涉观察法甚至成为某些制程,比如位错检查,导电粒子压合,硬盘制造检测的关键手段

 

用DIC模式观察的1000x放大下的芯片表面(不同的倾斜角度)

诺马斯基棱镜可做水平移动调节,类似相位移动的补偿器的作用,使视场中物体和背景之间的亮度和干涉颜色发生变化,从而达到理想的观察效果。






荧光观察是表征芯片表面宏观缺陷的一种常用手段,通常用来观察大颗粒污染或者光刻胶涂布等缺陷,同时也可以用来观察OLED等发光器件。


使用宏观物镜能够实现迅速观察大范围样本,下图是0.7x宏观物镜与150x高分辨物镜的视野对比。

 


 

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