扫描电子显微镜的电子束不通过样品，只有电子束尽可能多地聚焦在样品的一小部分上，然后逐行扫描样品入射电子使得样品表面被激发出次级电子。

显微镜观察在这些点中的每一点处散射的电子，放置在样品旁边的闪烁晶体接收这些二次电子，并通过调制显像管的电子束的强度，从而改变显像管荧光屏的亮度。图像是反映样本表面结构的三维图像。

显像管的偏转线圈与样品表面的电子束同步扫描，使显像管的屏幕显示样品表面的形貌图像，类似于工业的工作原理。电视。由于这种显微镜中的电子不必传输样品，因此它们的电子加速度的电压不必非常高。扫描电子显微镜的分辨率主要由样品表面上电子束的直径决定。放大率是显像管上的扫描幅度与样品上的扫描幅度之比，其可以连续变化数十倍至数十万次。

扫描电镜不需要非常薄的样品;图像具有很强的立体效果;它可以通过使用二次电子，电子吸收和电子束与物质相互作用产生的X射线来分析材料成分。扫描电子显微镜基于电子和物质的相互作用。当一束高能入射电子撞击材料表面时，激发区将产生二次电子，俄歇电子，特征X射线和连续X射线，背向散射电子，透射电子，可见光，紫外线和红外线光。该区域产生的电磁辐射。

同时，还可以产生电子 - 空穴对，晶格振动（声子）和电子振荡（等离子体）。 一般来说，电子数码显微镜应严格属于光学显微镜的范畴。电子数码显微镜是一种结合了精英光学显微镜技术，先进的光电转换技术和液晶屏技术而开发的高科技产品。因此，我们可以通过研究从传统的普通双目观察到显示器上的再现的微观领域来提高工作效率。

根据不同的数据显示模式，数码电镜可分为两类：内置屏幕数字显微镜和使用计算机显示器的数字显微镜。自带屏幕数码显微镜，可分为三类。台式数码显微镜、便携式数码显微镜和无线数码显微镜。台式数码显微镜的特点是放大倍数较高，可与电子显微镜相媲美，便携式数码显微镜随处可见微观，注重紧凑性。

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