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扫描电子显微镜 (SEM) 是开展科研工作、制造工厂的品质控制重要的仪器。 在这些场景中，用户需要重复执行相同的观察操作，因此快速完成这些操作有助于提高工作效率。 JSM-IT510 新增的“简单 SEM”功能，用户可将 SEM 观察所需的“手动重复操作交给它”，从而有效、轻松地完成 SEM 观察。
NEW 简单 SEM
只需选择目标视野
“简单 SEM”支持日常工作
样品：电子元件
加速电压：15 kV，放大倍数：×50（上部） ×1,000（下部），信号： BE
SEM规格
| 分辨率 | 高真空模式：3.0nm（30kV），15.0nm（1.0kV）；低真空模式：4.0nm（30kV、BED） |
| 放大倍数 | x5 至 x300，000 |
| 电子枪 | 钨灯丝，全自动电子枪调准 |
| 加速电压 | 0.3kV~ 30kV |
| 探针电流 | 1pA~1uA |
| LV压力调节 | 10~650Pa |
| 物镜光阑 | 4档，带XY微调功能 |
| 自动功能 | 灯丝饱和点调整、电子枪合轴调整、电子束对中调整、聚焦/散光/亮度/衬度调整 |
| 至大样品尺寸 | 200mm直径 x 75mm高 |
| 样品台 | 大型全对中样品台 X: 125mm Y：100mm Z：80mm 倾斜：-10~90° 旋转：360° |
| 图像模式 | 二次电子像、REF像、成分像、形貌像、阴影像 |
| 图像尺寸 | 640 x 640、1280 x 960、 2560 x 1920、 5120 x 3840 |
| 照片辅助功能 | 蒙太奇、简单SEM、Zeromag、实时3D |
| 操作支持功能 | 菜单（标准菜单/自定义菜单），测量、样品交换导航、信号深度功能、3D测量* |
| 操作系统 | Win10 64位 |
| 显示器 | 23.8英寸触控面板 |
| 语言切换 | 日语、英语、中文（可在用户界面上操作） |
| 真空系统 | 全自动、TMP、RP |
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