特点

JSM-7200F的主要特点有：应用了浸没式肖特基电子枪技术的电学系统；

利用GB（Gentle Beam 模式）和各种检测器在低加速电压下能高分辨观

察和选择信号的TTLS系统（Through-The-Lens System）；电叠加的混

合式物镜。

TTLS（through-the-lens系统）

TTLS（through-the-lens系统）是利用GB(Gentle Beam 模式）在低加速电压下能进行高

分辨率观察和信号选择的系统。 利用GB（Gentle Beam 模式）通过给样品加以偏压，对入

射电子有减速、对样品中发射出的电子有加速作用，即使在低加速电压（入射电压）下，也

能获得信噪比良好的高分辨率图像。

此外，利用安装在TTLS的能量过滤器过滤电压，可以调节二次电子的检测量。这样在低加

速电压的条件下，用高位检测器（UED）就可以只获取来自样品浅表面的大角度背散射电子。

因过滤电压用UED没有检测出的低能量电子，可以用高位二次电子检测器（USD，选配件）检

测出来，因此JSM-7200F能同时获取二次电子像和背散射电子像。