日本电子场发射扫描电镜JSM-7800F
通过混合式物镜(SHL)进行高分辨率观察
JSM-7800F的物镜采用的是静电场和静磁场叠加的混合式物镜(SHL)，由于减
少了色差及球差，提高了低加速电压下的分辨率。此外，SHL不会对样品形
成磁场影响，因此观察磁性材料的样品和进行EBSD测试可以不受制约。
7*12小时服务热线（业务咨询）：400-099-6011
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少了色差及球差，提高了低加速电压下的分辨率。此外，SHL不会对样品形
成磁场影响，因此观察磁性材料的样品和进行EBSD测试可以不受制约。
能量过滤器位于高位检测器 (UED)的正下方，可以选择能量。即使在低加速电压下，也能够准确地选择二次电子和背散射电子，因而可以通过低加速电压下的背散射电子像观察样品的浅表面。
给样品加以偏压(GB)，对入射电子有减速、对释放出的电子有加速作用。即使入
射电子束到达样品时的能量很低，也可以获得高分辨率、高信噪比的图像。如果
利用能施加更高偏压的GB模式，用几十电子伏能量的入射电子束，就可以进行更
高分辨率的观察。
JSM-7800F配有四种检测器：高位检测器(UED) 、高位二次电子检测器(USD)、背散射电子检测器(BED)和低位检测器(LED)。UED过滤器的电压不同，二次电子和背散射电子的数量会改变，因此可以选择电子的能量，USD检测被过滤器弹回的低能量电子，BED通过检测低角度的背散射电子，能清楚地观察通道衬度。利用LED的照明效果能够获得含有形貌信息的、富有立体感的图像。
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