日本电子场发射扫描电镜JSM-7500F
JSM-7500F场发射扫描电镜的电子光学系统将场发射电子枪和半浸没式(semi-in-lens)
物镜组合为一体,冷场发射电子枪在低加速电压下也能够将电子束聚焦得很细,与通用型
扫描电镜一样,对大样品也可以进行高分辨率的观察。
JSM-7500F场发射扫描电镜的电子光学系统将场发射电子枪和半浸没式(semi-in-lens)
物镜组合为一体,冷场发射电子枪在低加速电压下也能够将电子束聚焦得很细,与通用型
扫描电镜一样,对大样品也可以进行高分辨率的观察。
通过给样品加以偏压并照射电子束,利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式 (柔和光束),以几百电子伏的入射电子对样品的浅表面进行高分辨率观察。
r-过滤器有标准SB(二次电子检测)模式、标准BE模式(背散射电子检测)、Sb模式
(二次电子为主)和Bs模式(背散射电子为主)四种模式。Sb模式能检测混有任意比例背散
射电子的二次电子,Bs模式能检测混有任意比例二次电子的背散射电子,这些功能在简明易
懂的菜单上都可一键操作完成。
1.主动式减震器
2.磁悬浮分子泵系统,无需UPS保护
3.标配的五轴马达驱动全对中样品台
4.全自动样品更换气锁
5.全自动样品监控系统
6.全自动物镜光阑
7.多通道显示系统
8.自动减速系统标准配置
1.分辨率:1.0nm(15kV)/1.4nm(1kV)
2.加速电压:0.1KV-30kV
3.放大倍数:25-100万倍
4.样品室尺寸:至大200mm直径样品
5.束流强度:10-13到2X10-9
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电话:021-33587030  021-33587020  021-34631757