日本电子透射电镜JEM-ARM200F
STEM-HAADF像的保证分辨率(78pm*1 )
标配照明系统球差校正器,且大限度地提升了装置的机械稳定性和电气稳定性,STEM-HAADF像分辨率 (78pm*1、82pm*2)。
此外经过球差校正的电子束与一般的场发射透射电镜相比,电流密度可以高出十倍。使
用束斑更小、电流密度更大的电子束,能在进行原子水平的元素分析同时,大幅度地缩短
测试时间,提高分析效率。
*1 配备冷场发射电子枪
*2 配备肖特基场发射电子枪