扫描电镜主要使用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用非常窄的电子束扫描样品，并且通过电子束和样品的相互作用产生各种效应，并且二次电子可以产生样品表面。放大的形状图像。扫描电镜已广泛应用于材料科学（金属材料，非金属材料，纳米材料），冶金学，生物学，医学，半导体材料与器件，地质勘探，病虫害防治，灾害（火灾，失效分析）鉴定，工业生产中的刑事侦察，宝石鉴定，产品质量鉴定和生产过程控制。

然而，扫描电镜的应用远不是这些，因为电子束轰击样品会产生多种效应信号。随着检测技术的发展和新检测要求的出现，电子显微镜领域得到了扩展和测试。形式多样。

通过检测手段，采样方法等变化，可以解决客户更多的实际问题，而不仅仅是对外观或成分的分析。在实际应用中，例如组合不同的附件，电子显微镜可以扩展到多个应用领域的研究。具体应用如下：

1.能谱仪（EDS）：元素分析

光谱仪用于分析材料微区的组成元素的类型和含量，并与扫描电镜结合使用。它可用于元素的定性和定量分析，可与地形结合使用，指导材料的研究工作和生产过程的改进。

2.电子束曝光系统（EBL）：微纳米处理

该系统标记纳米级物体，可以在纳米级，微米级粒子上书写或蚀刻。实现微纳米加工，如可直接描绘精细图案，在实验室中制作微小的纳米电子电子元件，广泛应用于MEMS领域：低温电子器件，光电器件，量子结构，传输机制，微系统，light研究半导体和超导体材料之间的器件和接口。

3.纳米控制台

纳米操纵器能够准确地操纵纳米级物体的机电系统，在纳米尺度上执行各种观察，表征和组装功能。基于扫描电镜的纳米操作通过实时视觉观察和物理交互实现在线实时操作和纳米级物体测试，实现快速，灵活和自动化的纳米级任务，实现纳米电子器件制造和纳米级仪器必不可少用于纳米加工工艺，如测量和纳米材料表征。

可以实现以下研究：（1）跨尺度超精密纳米定位技术（2）纳米操作器的开发和应用（3）基于NEMS / MEMS技术的纳米操作工具的开发4）现场测量纳米材料，纳米器件制造业。

4.原位样品阶段：可在纳米和微米级实现拉伸，高温，冷冻等实验

与扫描电镜结合使用的拉伸样品台可以测试纳米级材料的机械性能和机械性能;如果高温和低温原位样品阶段可用于测量材料在高温和低温下的力学性能和失效模式分析，例如，原位观察材料的早期失效在加载过程和裂纹扩展过程中的高温和低温下。

通常，高温阶段可用作在微观条件下对材料进行高温处理的工艺，例如微/纳米级材料的热处理，或模拟高温下电子元件的高温损坏过程。低温恒温器还广泛用于生命科学材料和一般材料，例如含有大量液体组分的溶液。样品阶段是防止样品水分流失的 有效方法。它可以应用于任何真空状态，包括冲入样品室。

具有水分等，并且通过控制样品升华蚀刻来冷冻破裂和选择性去除表面水分（冰）的能力，显示大量重要的内部信息等，例如，含有大量水的细胞可以立即冷却和维护。在原始状态下，如果与纳米控制台一起使用，甚至可以实现在扫描电镜下观察低温状态下的切片。

5. Micro-CT：微纳米级的无损检测。

一般来说，SEM可以获得样品的表面信息成像，而Micro-CT技术是一种非破坏性的3D成像技术，进一步扩展了成像技术，观察样品的内部微观结构 - 无损且操作简单。它与普通CT的 大区别在于分辨率 高，可以达到微米（μm）水平，并且具有良好的“微观”效果。 Micro-CT可用于医疗，制药，生物，考古，材料，电子，地质和其他研究领域。该技术可以在二维或三维中显示样品的内部形貌。例如，一些样品在SEM下表面没有裂纹损伤，但是材料内部通过Micro-CT观察，但是在材料的早期阶段发现了微观微裂纹。

6.真空预处理室：真空转移

对于一些样品，在预处理之后，它们将被置于SEM下，但是在空气中，可能发生反应，例如氧化。真空预处理室将解决这些问题。可以是在打破真空的情况下，将样品通过真空管通过样品棒送入电子显微镜中进行观察。

近年来，科研人员开展了基于电子显微镜技术的微区荧光光谱，背散射电子成像，平行光谱等信号检测，并结合航空环境模拟，环境条件，功能材料制备或改性。 对材料的结构表征进行测试观察，甚至在线分析，电子显微镜技术与各种应用技术或工艺设备的结合，已成为电子显微镜技术和设备的更多应用。

通过开发和扩展EM设备的本地模块的功能，测试性能的集成，结构部件的加强等，或通用的，或特殊的，解决客户在实际研发和生产中的问题，这些服务满足实际需求，促进电光技术在生产和开发中得到更广泛的开发。

免责声明：本平台文章均系转载，版权归原作者所有。所转载文章并不代表本网站赞同其观点和对其真实性负责。如涉及作品版权问题，请及时联系我们400-099-6011，我们将作删除处理以保证您的权益！