通过非接触表面粗糙度分析仪测量表面粗糙度是通过不影响待测表面形貌间接反映待测表面信息的方法。这种方法的至大优点是测量装置检测到与待测表面直接接触的部分保护测量装置，同时避免直接接触测量装置引入的测量误差。

光切法

在非接触式表面粗糙度仪轮廓仪的测量方法中，光切割方法是利用光切割原理测量表面粗糙度的方法。它以一定角度将一束平行光投射到待测表面上，与光表面轮廓相交的曲面图像反射测量表面的微观表面。几何形状解决了测量工件表面的微峰深度并避免与待测表面接触的问题。因为它使用了光切割的原理。

所以可测量表面的轮廓峰和谷的至大和至小高度受到景深和物镜辨别率的限制。如果峰和谷的高度超过一定范围，则在目镜的视场中不能是清晰的真实图像，导致无法测量或测量误差大。然而，由于该方法成本低且易于操作，因此仍被广泛使用。

散斑法

由单模半导体激光器La发射的光束由透镜发散，由分束器S分成两个路径，一个路径照射待测表面O，另一个路径通过透镜返回到平面镜M S，作为参考光和待测表面的返回。光在S会聚处重新干涉，干涉图案由CCD相机记录并存储在计算机中。

参考镜M连接到压电陶瓷（PZT），其由计算机控制以使参考镜M的微小位移W（x，y）改变。由于相位差对应于轮廓深度（即，光程差），因此可以根据W（x，y）确定每个点的粗糙度。

激光散射图通常反映激光照射的表面的微观结构，但是很难直接得出表面参数的信息，特别是当用单色光照射粗糙表面时，由于形成非常粗糙的表面。斑块不完全由粗糙度决定，因此当用斑点测量表面粗糙度时，它仅适合在一定范围内。

在某些情况下，表面太光滑，无法通过电子散斑干涉仪测量，有时可能无法测量，因为表面太粗糙，因此银灰色涂料可用作辅助手段，并且灵敏度高形状差异条纹可高达10μm。

像散测定法

测量原理是物体表面上的照明光B由物镜在位置Qx处成像。当光点和物镜之间的距离（光轴方向）变为A或C时，成像位置也分别移动到Px或Sx。如果从中间的表面并垂直于光轴观察光束，则可以发现光束的直径也发生变化，也就是说，可以检测光束直径的变化量以确定光束的直径。

仅在Y轴上插入物镜后面的图像的位置。柱面透镜的Y轴在聚焦方向上的成像将向前移动到Py，Qy，Sy，并且光束将发散。 X轴和Y轴方向的成像位置不同，光束是椭圆形的。因此，当光点远离物镜时，它是长椭圆形Y轴上的轴。

相反，当它靠近物镜时，它是X轴上的长轴的椭圆，并且象限光电探测器（四重光电二极管）用作传感器。在光电转换之后，放大并计算光束，并且可以获得对应于待测表面的少量位移的输出信号。光束的分辨率可达到纳米级，但测量范围很小。

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