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FEI扫描电镜Verios XHR SEM是 FEI 的 XHR(高分辨率)SEM 系列的二代产品.在半导体制造和材料科学应用中,它可在 1 至 30 kV 范围内提供亚纳米量级分辨率以及增强的对比度,满足材料准确测量所需.