激光共聚焦显微镜和扫描电镜都是点源逐点扫描成像，通过控制扫描驱动范围来调整放大倍率。激光共聚焦显微镜通过激光扫描工作以获得三维图像。当扫描样品表面时，扫描电镜通过使用由精细聚焦电子束激发的各种物理信号进行调制和成像。只能获得二维图像，并且不能获得三维图像。

一、由于放大信号源的不同，极限分辨率是不同的

激光共聚焦显微镜：限制分辨率150nm。使用纯纯的单色短波可见光进行光源成像，可以通过改变物镜来改变分辨率和图像质量。

扫描电镜：根据电子枪发射原理，目前的技术极限分辨率为20nm~0.8nm。使用电子光学成像。主要通过改变电磁透镜的焦距来改变分辨率。

原子力显微镜：使用杠杆激光测距仪成像限制分辨率0.1nm！扫描端的曲率半径决定了分辨率。

二、不同的扫描驱动方法

激光共聚焦显微镜：激光源非常薄，使用计算机控制的激光镜来控制激光扫描范围和扫描速度，以控制放大率和图像质量。

扫描电镜：计算机控制的扫描线圈控制电子束扫描范围和扫描速度，以调整放大率和图像质量。

原子力显微镜：计算机控制的压电位移传感器驱动样品台的X和Y方向扫描，以实现扫描范围和扫描速度控制，从而改变放大率和图像质量。

三、立体声成像的区别

激光共聚焦显微镜：通过纳米级步进电机在Z轴方向上驱动样品，然后软件将设定的层组合在一起，形成清晰的立体图像。图像景深由Z周驱动范围确定。

扫描电镜：单帧图像具有大的景深，但它属于二维图像，并且可以通过立体对技术实现三维成像。

原子力显微镜：成像的本质是测量表面上每个像素的高度，描绘三维外观。因此，每个像素的Z方向数据须准确，否则形状不准确。传统上，使用管状驱动器，并且X / Y方向被摆动和扫描，导致图像失真和较差的再现性。至新采用独立的X，Y扫描驱动，外观准确。

四、激光共聚焦显微镜显微镜和原子力显微镜可用于测试大气中的样品

一般SEM须在高真空环境中进行测试。

五、应用范围的差异

激光共聚焦显微镜：几次〜几千次，样品制备简单。

扫描电镜：几次到几十万次，样品制备稍微复杂一些，但总体来说也很简单。

原子力显微镜：数万至数千万次，样品要求非常平坦，样品制备困难。例如，A4纸太粗糙而无法观察到。

至后的区别就是价格上的差异。一台激光共聚焦显微镜要10-20万美元。一台原子力显微镜要5-20万美元，一台扫描电镜的价格要6-70万美元。以上就是激光共聚焦显微镜、扫描电镜、原子力显微镜的区别，希望这篇文章对您有帮助。

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